在熱處理過程中，精密模具常常會產生變形,為了預防這種不好的現象，只要把握其變形規律，分析其產生的原因，采用不同的方法進行預防模具的變形是能夠減少的，也是能夠控制的。一般來說，對精密復雜模具的熱處理變形可采取以下方法預防。
(1)公道選材。對精密復雜模具應選擇材質好的微變形模具鋼(如空淬鋼)，對碳化物偏析嚴峻的模具鋼應進行公道鑄造并進行，對較大和無法鑄造模具鋼可進行固溶雙細化熱處理。
(2)模具結構設計要公道，厚薄不要太懸殊,外形要對稱，對于變形較大模具要把握變形規律，預留加工余量,對于大型、精密復雜模具可采用組合結構。
(3)精密復雜模具要進行預先熱處理，消除機械加工過程中產生的殘余應力。
(4)公道選擇加熱溫度，控制加熱速度，對于精密復雜模具可采取緩慢加熱、預熱和其他均衡加熱的方法來減少模具熱處理變形。
(5)在保證模具硬度的條件下，盡量采用預冷、分級冷卻淬火或溫淬火工藝。
(6)對精密復雜模具，在前提許可的情況下，盡量采用真空加熱淬火和淬火后的深冷處理。
(7)對一些精密復雜的模具可采用預先熱處理、時效熱處理、調質氮化熱處理來控制模具的精度。
(8)在修補模具砂眼、氣孔、磨損等缺陷時,選用冷焊機等熱影響小的修復設備以避免修補過程中變形的產生。
熱處理工藝操作有許多方法，具體包括如堵孔、綁孔、機械固定、相宜的加熱方法、準確選擇模具的冷卻方向和在冷卻介質中的運動方向等，公道的回火熱處理工藝也是減少精密復雜模具變形的有效措施。